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2019-08-12 14:10

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

扫描电子显微镜是使用聚焦电子束对样品表面进行逐点扫描成像。样品是块状或粉末状颗粒,成像信号可以是二次电子,背向散射电子或吸收的电子。其中,二次电子是最重要的成像信号。电子枪发射的电子为5至35keV,交叉点用作电子源。二次电子束和物镜被还原以形成具有一定能量,一定光束强度和束斑直径的精细电子束,其由扫描线圈驱动。以一定的时间和空间顺序在样品的表面上执行网格型扫描。聚焦电子束与样品相互作用以产生二次电子发射(和其他物理信号),二次电子发射量随样品的表面形貌而变化。二次电子信号由检测器收集并转换成电信号。在通过视频放大之后,将其输入到显像管的栅极,并且调制与入射电子束同步扫描的显像管的亮度,以获得反映样品的表面形貌的二次电子图像。

示意图:


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什么是TEM,SEM,FIM

透射电子显微镜(TEM)


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SEM与TEM的区别

SEM,扫描电子显微镜的全称,也称为扫描电子显微镜,英文名称Scanning Electronic Microscopy。 TEM,全称透射电子显微镜,又称透射电子显微镜,英文名称Transmission Electron Microscope。

差异:

1。 SEM样品收集激发的二次电子和反向散射电子并成像。 TEM可以表征样品的厚度,并且还可以表征样品的内部晶格结构。 TEM的分辨率高于SEM。

2。 SEM样品要求并不重要,TEM样品中观察到的部分必须减薄至100nm或更小的厚度,通常制成3mm直径的片,然后进行离子稀释或双重喷涂(或厚度) 20)。薄区域要求~40μm或更小)。

3。 TEM可以校准晶格常数以确定相结构; SEM可以主要校准某个元素的含量,但不能准确地确定结构。

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